設置場所ごとの研究設備です。共同利用の設備も含んでいます。

東31号館

光学的特性評価装置

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フォトルミネッセンス(photoluminescence: PL)測定を行います。

  • 装置構成
    • 励起光源: He-Cdレーザ(325 nm), LD励起固体レーザ(532 nm)
    • 分光器: HR320
    • 検出器: R5509-72
    • ロックインアンプ: エヌエフ回路設計ブロック製

薄膜堆積装置

ナノ粒子作製装置

電気的特性測定装置

プローバ 測定機器

電気的特性を測定します。測定方法、装置構成は、下記の通りです。

  • C-V測定
  • I-V測定
  • Quasi-Static CV測定
  • DLTS測定(構築中)
    • 高速CVメータ(Boonton 7200)
    • 温度可変クライオスタット

電気化学的特性評価装置

東8号館(旧SVBL棟)

有機金属気相成長装置

MOVPE装置

III-V族半導体を単結晶基板上に結晶成長します。 原料の供給量と時間を制御して、混晶半導体やヘテロ構造を作製することができます。 今のところ、GaAsやInPを基板にもちいています。

マスクアライナー

電子線描画装置

走査型電子顕微鏡(SEM)

走査型電子顕微鏡

X線回折装置

X線回折装置

SVBLに設置されている共同利用の装置です。X線回折測定をします。θ-2θ測定やロッキングカーブ測定、低角入射測定、反射率測定、逆格子マッピング測定ができます。

走査型プローブ顕微鏡

SPM

試料-探針(カンチレバー)間の原子間力を利用してナノメートルサイズのものの表面を観察します。STMと違って、電気を通さない絶縁物でも観察可能です。観察雰囲気は、真空中のみならず、大気圧中でも観察できます。

膜厚測定装置

Dektak(本物)があります。

  • 装置名称: 触針式表面形状測定器
  • 形式: Dektak

西7号館(レーザー新世代研究センター)

ラマン分光装置

研究設備センター

超高真空走査型トンネル顕微鏡

X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectrometer)

透過型電子顕微鏡 (transmission electron microscope)

カソードルミネッセンス測定装置 (cathodoluminescence measurement system)


Last-modified: 2013-05-13 (月) 16:06:37 (2139d)